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日本东北大学开发出新型氮化铝(AlN)单晶生长方法

2026-06-20 行业资讯 234

日本东北大学研究团队开发出新型氮化铝(AlN)单晶生长方法,有望提升AlN衬底的晶体质量与尺寸,为深紫外LED、功率器件、5G滤波器等应用提供更优的衬底材料。